湖北兴力电子材料有限公司电子级次氯酸产品的专题报道


发布时间:

2025-09-12

        湖北兴力电子材料有限公司作为兴发集团旗下专注于电子化学品研发的中外合资企业,其电子级次氯酸产品填补了国内高端半导体清洗材料的空白。该产品采用台湾侨力公司先进纯化技术,杂质控制达到PPT级(万亿分之一)标准,可满足集成电路制造中晶圆清洗、蚀刻后处理等严苛工艺需求。与工业级次氯酸相比,其特性包括:1)金属离子含量低于10ppb,避免对半导体器件造成污染;2)稳定性增强,通过特殊配方将分解率控制在0.5%/天以内;3)兼容性优化,适配12英寸晶圆产线的高通量清洗设备。目前产品已通过中芯国际等头部晶圆厂的认证测试,主要应用于5G芯片、功率器件等先进制程领域。         湖北兴力电子材料有限公司的电子级次氯酸产品在技术上实现了三大突破:首先,通过自主开发的连续精馏纯化工艺,将产品中的金属离子含量控制在10ppb以下,达到国际SEMI G5标准,有效解决了传统次氯酸易导致半导体器件表面氧化的行业难题。其次,创新性添加稳定剂配方,使产品在25℃环境下的分解率从常规产品的3%/天降至0.5%/天,大幅延长了存储周期并降低了使用成本。最后,针对12英寸晶圆产线开发了低泡型配方,在保证清洗效果的同时减少设备维护频次,已成功导入国内3条先进制程生产线。这些技术突破不仅打破了日本企业在该领域的垄断,更使国产电子级次氯酸的市场售价降低约40%,有力推动了半导体材料国产化进程。         在应用场景方面,湖北兴力电子级次氯酸展现出多元化的技术适配性。作为半导体制造的关键材料,其核心应用场景包括:1)晶圆清洗环节,可有效去除光刻胶残留和金属污染物,特别适用于5G芯片的氮化镓功率器件制备;2)蚀刻后处理工序,通过选择性氧化作用清除硅片表面的中间产物,提升芯片良率;3)先进封装领域,用于TSV(硅通孔)结构的清洁,满足3D堆叠工艺的严苛要求。与同类进口产品相比,该产品在性价比上具有显著优势,其单位处理成本较日本厂商同类产品降低35%,且供货周期缩短至2周以内,更贴合国内晶圆厂的快速响应需求。目前,该产品已在中芯国际14nm制程产线完成验证测试,并开始向长江存储等企业批量供货,预计2025年国内市场占有率将突破25%。随着国内半导体产能持续扩张,该产品在逻辑芯片、存储芯片等领域的渗透率有望进一步提升

        湖北兴力电子材料有限公司作为兴发集团旗下专注于电子化学品研发的中外合资企业,其电子级次氯酸产品填补了国内高端半导体清洗材料的空白。该产品采用台湾侨力公司先进纯化技术,杂质控制达到PPT级(万亿分之一)标准,可满足集成电路制造中晶圆清洗、蚀刻后处理等严苛工艺需求。与工业级次氯酸相比,其特性包括:1)金属离子含量低于10ppb,避免对半导体器件造成污染;2)稳定性增强,通过特殊配方将分解率控制在0.5%/天以内;3)兼容性优化,适配12英寸晶圆产线的高通量清洗设备。目前产品已通过中芯国际等头部晶圆厂的认证测试,主要应用于5G芯片、功率器件等先进制程领域。
        湖北兴力电子材料有限公司的电子级次氯酸产品在技术上实现了三大突破:首先,通过自主开发的连续精馏纯化工艺,将产品中的金属离子含量控制在10ppb以下,达到国际SEMI G5标准,有效解决了传统次氯酸易导致半导体器件表面氧化的行业难题。其次,创新性添加稳定剂配方,使产品在25℃环境下的分解率从常规产品的3%/天降至0.5%/天,大幅延长了存储周期并降低了使用成本。最后,针对12英寸晶圆产线开发了低泡型配方,在保证清洗效果的同时减少设备维护频次,已成功导入国内3条先进制程生产线。这些技术突破不仅打破了日本企业在该领域的垄断,更使国产电子级次氯酸的市场售价降低约40%,有力推动了半导体材料国产化进程。
        在应用场景方面,湖北兴力电子级次氯酸展现出多元化的技术适配性。作为半导体制造的关键材料,其核心应用场景包括:1)晶圆清洗环节,可有效去除光刻胶残留和金属污染物,特别适用于5G芯片的氮化镓功率器件制备;2)蚀刻后处理工序,通过选择性氧化作用清除硅片表面的中间产物,提升芯片良率;3)先进封装领域,用于TSV(硅通孔)结构的清洁,满足3D堆叠工艺的严苛要求。与同类进口产品相比,该产品在性价比上具有显著优势,其单位处理成本较日本厂商同类产品降低35%,且供货周期缩短至2周以内,更贴合国内晶圆厂的快速响应需求。目前,该产品已在中芯国际14nm制程产线完成验证测试,并开始向长江存储等企业批量供货,预计2025年国内市场占有率将突破25%。随着国内半导体产能持续扩张,该产品在逻辑芯片、存储芯片等领域的渗透率有望进一步提升